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诚邀参加“美国ENERGETIQ 高亮度超光谱光源”(上海)研讨会
2013-05-17 15:55:18   来源: 瞬渺市场部   评论:0 点击:

诚邀参加美国ENERGETIQ 高亮度超光谱光源(上海)研讨会地点:上海日期:2011年12月2日邀请函尊敬的老师: 您好!很荣幸地邀请您于至2011年12月2日下午14:00-15:00期间到上海瞬渺参加美国ENERGETIQ高亮度超光谱...
诚邀参加“美国ENERGETIQ 高亮度超光谱光源”(上海)研讨会

地点:上海

日期:2011年12月2日

      
尊敬的老师: 
您好!
很荣幸地邀请您于至2011年12月2日下午14:00-15:00期间到上海瞬渺参加美国ENERGETIQ 高亮度超光谱光源技术研讨会。

Energetiq 是一个制造和分析纳米级产品结构的高级光源开发制造商。该产品主要用于复杂科研项目和工程运用,例如前沿半导体制造和生命科学分析仪器。
Energetiq 的光电产品基于在整个光谱能够产生高亮度的光,从1ns到1000ns以上,具有高度可靠性,操作周期长,体积小等特点.
Energetiq光源主要用途:光谱学分析,显微镜学,和生命科学感应方面;平版印刷术,计量学和光阻材料的半导体制造开发方面;X射线软件显微镜学;也广泛用于同步加速器辐射和传统弧光灯.
 
ENERGETIQ激光驱动光源产品介绍
EQ-99激光驱动光源:
Energetiq自主研发和生产高可靠性,高性能的光源。我们的产品谱线包括软X射线(SXR),远紫外线(EUV),深紫外(DUV)的谱线,包括可见光到红外光区(IR),波长范围从1nm到1000nm及以上。Energetiq的光源具有结构紧凑,使用方便,性价比高的特点。
 
技术介绍:
电极激光驱动光源技术
Energetiq自主研发的激光驱动光源(LDLS)技术使用连续激光直接加热氙离子至需要的温度,以产生高效的宽频谱光。使用传统的方法,如弧光灯,氘灯,当使用电极连接电源和等离子体时,灯的亮度,紫外能量,使用寿命非常有限。无电极的LDLS技术可以产生少量,高亮度的等离子体,以获取高效的光源,光谱范围包括从深紫外到包括可见光及以上的谱线,并且延长了灯的使用寿命。
․革命性的新技术---连续激光等离子放电
․宽谱线,高亮度
  从170nm到包括可见光区至1000nm以上。
 
无电极Z箍缩等离子体技术
已知的Z箍缩等离子体技术在产生EUV和SXR光时,性能优越。然而,所以目前使用的方法都需要使用电极传导高的放电电流。要产生EUV光,电极需要接触极高温度的等离子体(约500,000℃),此做法会导致电极腐蚀,开裂,甚至熔化。对于连接到光源的任何光学系统,电极残片成为重要的污染源。
Energetiq独特的工艺技术也是基于Z箍缩等离子体技术,但在该过程中避免使用电极,而用诱导方式将电流连入等离子体。Energetiq光源的等离子体被磁性束缚在光墙内,达到热负荷极小化,也极大减少污染残片。
․独特的无电极,无电极电流设计
  --无电极,--无电极残片
․等离子体被磁性束缚,以远离光源组件
--进一步减少残片污染
․磁束缚提供极好的空间稳定性
․低成本,结构简单
 
详细资料下载
 
您也有机会现场与同行专家进行交流沟通!
 
组织单位:  
上海瞬渺光电技术有限公司
时 间: 2011年12月2日  下午14:00-15:00
地 点: 上海市申南路59号泰弘研发园1号楼306室

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